直驱线性平移台是一种采用直驱电机（如直线电机或力矩电机）作为驱动核心的高精度直线运动平台，具备无机械接触传动链的结构优势，能实现亚微米甚至纳米级的定位精度与重复精度。该平移台取消传统丝杠、皮带等中介机构，依靠电磁直接驱动移动载体，响应速度快、无背隙、低磨损，广泛应用于半导体制造、激光加工、光学检测、纳米定位、生物工程和精密计量等高端场合。通常配备光栅尺或干涉仪进行全闭环反馈控制，支持高动态响应与复杂轨迹运动，尤其适合对加速度、精度和洁净要求极高的自动化装备系统。 根据本项目团队最新调研，预计 2031 年全...

直驱线性平移台是一种采用直驱电机（如直线电机或力矩电机）作为驱动核心的高精度直线运动平台，具备无机械接触传动链的结构优势，能实现亚微米甚至纳米级的定位精度与重复精度。该平移台取消传统丝杠、皮带等中介机构，依靠电磁直接驱动移动载体，响应速度快、无背隙、低磨损，广泛应用于半导体制造、激光加工、光学检测、纳米定位、生物工程和精密计量等高端场合。通常配备光栅尺或干涉仪进行全闭环反馈控制，支持高动态响应与复杂轨迹运动，尤其适合对加速度、精度和洁净要求极高的自动化装备系统。 据 GIR (Global Info Res...