工艺腔室终点检测器市场前十生产商排名、市场占有率分析报告2025

终点检测 (EPD) 对于许多晶圆蚀刻应用至关重要，以确保工艺得到严格控制且保持一致，确保每一片晶圆都能获得可靠的结果，并优化器件产量。终点检测主要用于指示腔体清洁过程的完成或指示晶圆层何时被蚀刻。沉积腔体通常要经历腔壁处理、晶圆处理和腔体清洁的循环。不完整的清洁会导致不同等离子配方之间的交叉污染，并会干扰处理，这是腔体电弧和颗粒产生的主要原因。据 GIR (Global Info Research)调研，按收入计，2024 年全球工艺腔室终点检测器收入大约 47.5 百万美元，预计 2031 年达到 7...